近年來，隨著中國經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展，中國信息產(chǎn)業(yè)的技術(shù)水平不斷提高，高分子材料和微電子器件在各個領(lǐng)域及其產(chǎn)品中得到廣泛應(yīng)用。ESD是微電子器件的主要威脅。ESD嚴(yán)重影響微電子器件的質(zhì)量，并威脅器件的整體運(yùn)行。為了保護(hù)微電子器件，有必要從設(shè)計、生產(chǎn)和運(yùn)輸?shù)确矫鎸﹄娮悠骷M(jìn)行靜電保護(hù)。

ESD(靜電放電)表示“靜電放電”。靜電是指物體表面相對靜電荷的過?；虿蛔?，可能是正的，也可能是負(fù)的。由于“過剩”或“短缺”，靜電荷處于不平衡狀態(tài)，容易轉(zhuǎn)移。

ESD包括四個階段。第一階段是電荷的產(chǎn)生。電荷的產(chǎn)生是由摩擦或感應(yīng)引起的。這個過程叫做靜電起電。第二階段是電荷轉(zhuǎn)移。電荷的轉(zhuǎn)移是由于兩個物體之間的電勢差。當(dāng)兩個物體的電勢平衡時，電荷轉(zhuǎn)移停止。第三階段是電荷積累。靜電荷可以通過中和或泄漏而減弱。當(dāng)起電速度大于衰減時，電荷就會積累。比如人體與大地絕緣時，人體的靜電荷可以高達(dá)1.5KV-35KV。第四階段，快速釋放。靜電勢不同的物體，由于直接接觸或靜電感應(yīng)，引起物體之間的靜電荷轉(zhuǎn)移，也稱為靜電放電。這是靜電場能量達(dá)到一定程度后放電的現(xiàn)象，也可能是空氣中的帶電離子在兩個物體之間傳導(dǎo)形成電流，產(chǎn)生小雪崩效應(yīng)。

ESD四個保護(hù)方向

操作人員:人是靜電的最大來源。人在行走和工作時會產(chǎn)生靜電，接觸或接近微電子器件時可能會產(chǎn)生靜電放電。為減少人員因素，必須穿防靜電服裝、手套和防靜電鞋，戴防靜電手鐲/腳鏈，并可靠接地。養(yǎng)成良好的工作習(xí)慣，遠(yuǎn)離沒有防靜電措施或措施不完善的靜電敏感產(chǎn)品。

設(shè)備:為了提高企業(yè)的生產(chǎn)能力，很多工序都使用自動化設(shè)備，這些設(shè)備的運(yùn)行會產(chǎn)生大量的靜電。在微電子器件的加工過程中，各種過程都會釋放靜電，大量微電子器件會失效。所有設(shè)備、儀器、手術(shù)臺、凳子和架子都需要可靠接地。移動的旋轉(zhuǎn)小車等。還應(yīng)通過安裝靜電釋放裝置與地面相連。

材料:臺面和周轉(zhuǎn)箱/包裝盒在操作環(huán)境中采用抗靜電/導(dǎo)電材料。

環(huán)境:靜電的產(chǎn)生與環(huán)境濕度成正比，即濕度越高，產(chǎn)生的靜電越少。然而，高濕度環(huán)境容易導(dǎo)致生銹和腐蝕。綜合考慮，電子生產(chǎn)車間的濕度一般保持在30%-70%RH。此外，離子風(fēng)扇也可以用來中和靜電荷。

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