在潔凈室環(huán)境中，經(jīng)常會(huì)忽略靜電，而這種監(jiān)督的結(jié)果可能會(huì)導(dǎo)致利潤(rùn)下降。在一些沒(méi)有研究和了解影響的工廠中，通過(guò)預(yù)算減少不可預(yù)見(jiàn)問(wèn)題的產(chǎn)量來(lái)解決這些問(wèn)題。靜電荷及其影響當(dāng)然可以理解，可以加以控制。本文的目的是從問(wèn)題中刪除“黑魔法”，解釋其對(duì)生產(chǎn)過(guò)程的影響并討論補(bǔ)救措施

潔凈室有什么特別之處？

潔凈室是一個(gè)獨(dú)特的環(huán)境。對(duì)于許多應(yīng)用，將其調(diào)節(jié)到較低的相對(duì)濕度（RH）以優(yōu)化工藝。大量的空氣過(guò)濾（包括高效的顆?？諝猓℉EPA）過(guò)濾器）排除了許多顆粒污染物。進(jìn)入潔凈室之前，請(qǐng)先擦凈潔凈室中的物體。事實(shí)證明，這些措施對(duì)于保持超凈環(huán)境非常有用，但它們也是在潔凈室中實(shí)現(xiàn)大量靜電的處方。

眾所周知，在低濕度環(huán)境中可以有效地產(chǎn)生靜電荷。在冬天，人們把手伸到門把手上時(shí)，被火花刺傷是很平常的事。建筑物被加熱，溫度升高導(dǎo)致相對(duì)濕度降低。這種相同的效果導(dǎo)致在潔凈室中，特別是在低RH潔凈室中，靜電荷產(chǎn)生的速率比常規(guī)房間中更高。

通過(guò)與其他材料接觸產(chǎn)生靜電荷后，自然界有幾種方法可以消散電荷。第一種機(jī)制是通過(guò)對(duì)象上的任何表面污染將電荷傳導(dǎo)到地面。通常，此類污染物（例如來(lái)自人手的油）在進(jìn)入潔凈室之前就已從物體上清除，并且物體保持清潔，因?yàn)楫a(chǎn)品只能由戴手套的手操作。

自然消散表面電荷的唯一機(jī)制是空氣中存在離子。這些離子是由自然產(chǎn)生的放射性和其他物質(zhì)（例如流水和電動(dòng)機(jī)）產(chǎn)生的。不幸的是，離子無(wú)法通過(guò)HEPA過(guò)濾器-離子被靜電吸附到HEPA過(guò)濾器的材料上-因此離子會(huì)從進(jìn)入潔凈室的空氣中去除。

更復(fù)雜的是，大多數(shù)無(wú)塵室使用許多絕緣體，例如玻璃和塑料。例如，聚四氟乙烯是一種非常有效的絕緣體，可以積極地保持其靜電荷。玻璃和其他塑料也是非常有效的絕緣體。由于上述觀點(diǎn)，無(wú)塵室可以非常有效地產(chǎn)生靜電荷，并且消散效果非常差。結(jié)果是靜電荷水平遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)傳統(tǒng)房間。

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