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潔凈室無塵布實驗測試
發(fā)布時間:2020-09-14 09:39瀏覽次數(shù):

實驗一:擦拭去除率

在本實驗中,我們驗證了用無塵布擦拭時的除塵率。通過在有或沒有酒精的情況下進行比較來比較效果。對于粉塵,我們使用大小為30μm的Ishimatsuko,它成為掉落并附著在其上的異物,并使用擦拭測試裝置,給出在恒定負載下擦拭時的數(shù)值。[實驗目的]確認有無酒精擦拭器的除塵率[使用設(shè)備]擦拭測試設(shè)備,粗顆粒計數(shù)器RACCAR[測量環(huán)境]溫度27.7℃/濕度52%[實驗方法] 首先,預定的溫度和濕度條件用空調(diào)/加濕器進行調(diào)節(jié),使?jié)穸葹?5%或更高,溫度為23°C±7°C。

①如下圖所示設(shè)置擦拭測試設(shè)備?!?/p>

 -將可移動部分設(shè)置為以50毫米/秒的速度從左端移動到右端?!?/p>

 -將三個要測量的晶片放置在A,B和D處。    賽車演示室自動擦拭測試設(shè)備

②將300或更多Ishimatsuko灑在清理好的晶圓上作為指導,并使用粗粒子計數(shù)器RACCAR進行測量。

③將一塊擦布包裹在擦拭測試設(shè)備的重物上,并用IPA酒精潤濕?!?nbsp;將其安裝在開始擦拭的位置的可移動部件框架中。

④將②的晶圓放在位置C,并同時操作擦拭測試設(shè)備。

⑤擦拭后立即收集晶片C,并用RACCAR進行測量。

⑥在有或沒有酒精(干燥狀態(tài))下,使用每個無塵布執(zhí)行此操作。 from從擦拭前后的值中獲取去除率。 *測量顆粒形狀為30μm或以上

無塵擦拭布

實驗二:運行期間產(chǎn)生的灰塵數(shù)量

在該實驗中,驗證了移動新的無塵布時會產(chǎn)生多少灰塵。至于如何移動它,我握住無塵布并從手腕上搖動它。它是新無塵布最初有多少灰塵的度量。 [實驗目的]驗證新型無塵布自身產(chǎn)生的粉塵 [使用的設(shè)備]產(chǎn)生粉塵的測試設(shè)備,微粒計數(shù)器KC-31 [測量環(huán)境]溫度28.8°C /濕度50%

[實驗方法]

首先,用空調(diào)/加濕器調(diào)節(jié)溫度和濕度條件(濕度45%或更高,溫度23°C±7°C)。

①清潔灰塵產(chǎn)生測試設(shè)備的內(nèi)部,并用粒子計數(shù)器檢查設(shè)備運行過程中產(chǎn)生的灰塵數(shù)量為0。

②戴上干凈的手套,將一根滾筒從手臂垂到尖端。

③換上新的無塵布,并將其放入灰塵產(chǎn)生測試裝置中。

④開始測量粒子計數(shù)器,等待1分鐘,不要動手。

⑤之后,每秒將無塵布搖動60次,持續(xù)1分鐘。⑥之后,請等待2分鐘,不要動手。    實驗  實驗根據(jù)⑦⑤⑥總共3分鐘測得的值,將粉塵產(chǎn)生測試裝置的風量和顆粒計數(shù)器的吸氣量轉(zhuǎn)換為實際產(chǎn)生的粉塵數(shù)。

*每張紙上產(chǎn)生的灰塵數(shù),而不是區(qū)域數(shù)。*測量顆粒形狀為0.3μm或更大

實驗三:切割過程中產(chǎn)生的灰塵數(shù)量

在該實驗中,我們驗證了在使用無塵布時發(fā)生撕裂或磨損等損壞時產(chǎn)生的灰塵。用剪刀剪開,以防撕裂。它是衡量如果您繼續(xù)使用損壞或撕裂的物品會有多大風險的度量。[實驗目的]無塵布破裂時的風險驗證[使用的設(shè)備]灰塵產(chǎn)生測試裝置,細顆粒顆粒計數(shù)器KC-31[測量環(huán)境]溫度28.4°C /濕度46%    實驗[實驗方法]首先,用空調(diào)/加濕器調(diào)節(jié)溫度和濕度條件(濕度45%或更高,溫度23°C±7°C)。

①清潔灰塵產(chǎn)生測試設(shè)備的內(nèi)部,并用粒子計數(shù)器檢查設(shè)備運行過程中產(chǎn)生的灰塵數(shù)量為0。

②戴上干凈的手套,將一根滾筒從手臂垂到尖端。

③一只手握住一個距離剪刀邊緣7厘米的標記的剪刀,另一只手握住一個新的無塵布,將兩只手放在粉塵產(chǎn)生測試裝置中。

④開始測量粒子計數(shù)器,等待1分鐘,不要動手。

⑤之后,以刮刀上的標記為基準,每5秒鐘將無塵布切割12次,持續(xù)1分鐘。

⑥之后,請等待2分鐘,不要動手。根據(jù)⑦⑤⑥總共3分鐘測得的值  ,將粉塵產(chǎn)生測試裝置的風量和顆粒計數(shù)器的吸氣量轉(zhuǎn)換為實際產(chǎn)生的粉塵數(shù)。

*測量晶粒形狀為0.3μm以上。*結(jié)果是按張而不是按區(qū)域。

實驗四:吸水率

在本實驗中,計算每張紙巾的無塵布供應的水量。該數(shù)值是針對每張紙計算的,而不是針對供水效率或面積計算的,這表明了織物的性能。簡單地說,一個無塵布吸收多少水是吸水的準則。[實驗目的]驗證一把無塵布周圍的吸水率[使用的設(shè)備] ASPRO緊湊型電子天平OH-42B[測量環(huán)境]溫度28.7℃/濕度51%[實驗方法]首先,用空調(diào)/加濕器調(diào)節(jié)溫度和濕度條件(濕度45%或更高,溫度23°C±7°C)。

①取出一個帶鑷子的新無塵布,并用電子天平測量。

②將無塵布浸入一碗水中1分鐘。

③取出雨刷,用剪刀將其懸掛2分鐘。

④之后,用電子天平稱量雨刮器的重量。

⑤使用公式“④-①”計算供水量。

*每張紙的供水量,而不是周圍區(qū)域。

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